Новости энергетики 16+

Первое отечественное производство трибромида бора для микроэлектроники создали в Томске

Первое российское производство трибромида бора для микроэлектроники создали в Томске. Производственная мощность установки — 24 кг вещества в год, первые поставки запланированы на 2026 год, сообщили в пресс-службе Томского госуниверситета (ТГУ).

«Инжиниринговый химико-технологический центр (ИХТЦ) совместно с ТГУ завершил проект по разработке технологии и организации полного цикла производства трибромида бора высокой чистоты. Трибромид бора высокой чистоты в основном применяется для легирования полупроводников в микроэлектронике. Проект выполнен по заказу Минпромторга России в целях обеспечения технологического суверенитета страны», — сообщили в вузе.

По словам руководителя проекта Аси Водянкиной, специалисты не только научились производить вещество, но и наладили полный технологический цикл, включающий в себя систему контроля качества на каждом этапе. Производственная мощность установки — 24 кг вещества в год. Продукт будут поставлять в кварцевых ампулах разного объема и в специальных емкостях-барботерах (сосуды с газом внутри). Первые поставки высокочистого трибромида бора запланированы на 2026 год.

«Мы ориентировались на потребности отечественных предприятий микроэлектроники. Их ключевым требованием было не просто импортозамещение, а получение материала гарантированного качества по конкурентной цене. Этот критерий стал для нас основным, и в ходе реализации проекта он был достигнут», — отметил директор ИХТЦ Алексей Князев.

Создание полного цикла производства на отечественном сырье позволяет выпускать продукт, сопоставимый по цене и качеству с зарубежными аналогами, основные поставки которых ранее осуществлялись из Китая, Германии и США. В реализации проекта также участвовали Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН (Новосибирск) и ООО «НПИ» (Нижний Новгород). Инженеры Нижнего Новгорода разработали технологические решения, а ученые из Томска и Новосибирска создали методики аналитического контроля и стандарты качества.

Читайте в Telegram:

Наш Телеграм
Прокрутить вверх